イオンシース


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イオンシース(さや)

ウエハ表面の近傍にイオンがたくさん集まった状態。プラズマとは異なり正イオンのみから成る層が形成され、プラズマ中の正イオンは、このイオンシースにかかる電位差で加速され、イオンビームとなって、被処理物の表面にほぼ垂直に入射する。