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<p class="MsoNormal" style="margin:0mm 0mm 0pt;"><font size="3"><font color="#0000FF"><span style="color:#FF0000;font-family:'ＭＳ 明朝';">
イオンシース（さや）</span></font></font></p>
<p class="MsoNormal" style="margin:0mm 0mm 0pt;"><span style="font-size:10pt;color:#000000;font-family:'ＭＳ 明朝';">
ウエハ表面の近傍にイオンがたくさん集まった状態。</span><span style="font-size:11.5pt;font-family:'ＭＳ 明朝';"><font color="#000000">プラズマとは異なり正イオンのみから成る層が形成され、プラズマ中の正イオンは、このイオンシースにかかる電位差で加速され、イオンビームとなって、被処理物の表面にほぼ垂直に入射する。</font></span></p>