不対電子を持つ化学種、遊離基ともいう。一般に、分子の熱分解、光分解、放射線分解、電子授受などによって化学結合が切断されて生ずる。 このようにして生じたラジカルは化学活性に富み、極めて速やかにラジカル同士あるいは安定分子との反応によつて変化する。 ＣＦ４ガスによるＳｉのドライエッチングの場合、高周波放電によりＦラジカル（ Ｆ＊ ) が発生し、Ｆ＊とＳｉとの反応による揮発性物質の生成、つまり Ｓｉ + 4Ｆ＊ → ＳｉＦ４↑という形でエッチングが進行する。
